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Sichere Bewegungsabläufe gefragt Bevor die fertige Waferscheibe die Produktionslinie verlässt, muss der Silizium-Einkristall viele Arbeitsgänge über sich ergehen lassen... Am Anfang steht der Kristallziehprozess. In Kristallziehanlagen sind erschütterungsfreie, gleichmäßige Vorschubbewegungen gefragt. Was kann INA dafür tun? Geradezu maßgeschneidert dafür sind zum Beispiel unsere wartungsfreien, vierreihigen Kugelumlaufeinheiten der Baureihe KUVE. Durch ihren geringen, gleichförmigen Verschiebewiderstand laufen sie gleichmäßig und präzise und ermöglichen so den extrem langsamen, aber konstanten Vorschub, der beim Ziehen der Silizium-Stäbe nötig ist. |